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高功率太赫兹量子级联激光器研究

刘峰奇  刘俊岐  陈剑燕  王涛  王利军  梁平  胡颖  王占国  
【摘要】:量子级联激光器(Quantum Cascade Laser,简称QCL)是一种利用半导体耦合量子阱子带间电子跃迁而产生激光的单极性半导体激光器,其工作波长可从中红外到太赫兹波段大范围调节。该报告以中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室在太赫兹QCL(简称THz-QCL)方面的研究进展作为实例,简要介绍QCL相关的物理过程、设计思路、材料生长所涉及的关键因素、器件研制和测试表征。中科院半导体所在2006年设计、研制出太赫兹QCLs功能材料(外延样品号G355、G374、G394等)。在解决了器件工艺、测试表征方面的部分问题后,研制出工作频率覆盖2.95-3.2 THz的一系列THz-QCLs。目前,研制的THz-QCL在10K下的输出功率超过123 mW、处于国际顶级行列。

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