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非球面凹透镜阵列的设计制作与性能研究

魏明月  张新宇  张天序  
【摘要】:基于单晶硅的各向异性腐蚀特性,采用两步湿法腐蚀制作出非球面凹透镜阵列。第一步湿法腐蚀,利用[100]面与[111]面腐蚀特性不同和腐蚀自动停止的原理在硅表面形成形态良好的倒金字塔结构;在第二步腐蚀中,利用[111]面与[114]面腐蚀特性,继续腐蚀,形成凹球面透镜阵列。通过测试所制样品的表面形态和光学性能得知,阵列重复性良好,填充率很高,表明通过二次湿法腐蚀在硅表面制作凹透镜阵列结构,不仅步骤简单,易于控制,节约造价,而且效果更好。

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