亚微米SOI光波导的模式及偏振特性分析

【摘要】：建立了一种直观的计算模型,采用三维全矢量虚位移束传输法对两种亚微米SOI(绝缘体上硅)光波导的模式特性及偏振特性进行了严格分析。矩形波导准TM模式的单模条件相比准TE模式更为宽松化,波导偏振相关性随尺寸降低而增大,正方形截面矩形波导模式双折射为零。脊形波导具有准TE单模单偏振范围,同时具有TM模式在波导侧壁发生模式转换并泄漏的固有特性,因而利于实现紧凑的单偏振器件。将结果与部分实验数据进行对比,表现出较好的一致性,为集成SOI光波导器件设计提供了可靠的参考依据。