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激光衍射法细圆柱体直径测量系统

崔建文  高振国  张晗  
【摘要】:为了提高激光衍射法细圆柱体直径测量精度,根据光波的矢量特性建立了矢量测量模型,提出了一种衍射花样处理方法,并研制了相应的测量系统。采用面阵CCD接收衍射花样,并使用二维零相位滤波器、最小二乘法等方法对其进行处理。运用该装置测量细圆柱体直径时,克服了传统方法测量细圆柱体直径时的原理误差,提高了测量精度。细圆柱体直径测量实验结果表明,基于改进模型的光学衍射法的相对测量误差在0.5%以下,优于目前1%的水平。

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