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光学读出红外成像及其FPA性能分析

高杰  焦斌斌  陈大鹏  董凤良  张青川  缪正宇  熊志铭  伍小平  
【摘要】:针对已提出的光学读出非制冷红外成像系统,设计研制了一种单元尺寸分别是50μm×50μm和60μm×60μm的新型双材料微悬臂梁红外焦平面阵列(FPA),进行了人体红外热成像实验,并对光学读出非制冷红外成像系统的温度—灰度响应曲线及噪声进行了测定。实验结果表明该微梁结构 FPA 构成的红外成像系统的噪声等效温度差(NETD)约100mK。和课题组之前的研究结果(微梁单元尺寸120μm×120μm,NETD 约300 mK)相比,红外图像的温度分辨率和空间分辨率都得到了明显改善。

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