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碲镉汞分子束外延所用的Si衬底清洗的现状与进展

许秀娟  
【摘要】:综述了碲镉汞分子束外延所用的 Si 衬底的传统 RCA 清洗方法和改进的 RCA 清洗方法的机理、清洗特点和清洗局限。最后介绍了碲镉汞分子束外延所用的 Si 衬底清洗方法的进展。

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