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激光散斑法测量微小物体质量

杨白久  高翔  何焰蓝  
【摘要】:较为详细地论述了激光散斑技术在计量方面的应用。首先介绍了散斑二次曝光的原理及其在面内位移测量中的应用,并应用上述技术于微小物体质量的测量。其次,进行了一些理论和实验方面的探索,实验结果与理论符合较好。

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