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干涉显微镜测量小球面曲率半径

陈磊  仇智  
【摘要】:研究了一种由单幅静态干涉图测量球面曲率半径的方法。针对小曲率半径(R50mm)的球面,用林尼克干涉显微镜得到被测球面的静态干涉图。基于阻尼最小二乘法,拟合干涉条纹的光强曲线,得到被测小球面面形的多项式表达式,并由此计算出被测件的曲率半径。讨论了算法初值的选取方法,验证了算法精度并分析了误差因素。对比实验表明,本方法的与其他测试方法取得的结果相吻合。

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