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LIGA技术及其在四级质谱计阵列微型化中的应用

丁军平  周抗寒  黄刚  凌波  刘学博  
【摘要】:正 四极质谱计问世于20世纪50年代,其制造技术成熟于20世纪70年代。目前已经成为最主要的商用质谱计之一。为适应科学技术的发展,尤其是载人航天、宇宙探索、国防现代化和民用便携检测的需要,四极质谱计在20世纪80年代中期开始向小型化发展,主要有小型四极质谱计、单极质谱计和阵列质谱计三大分支。其中,阵列质谱计发展最快、最具生命力,它在20世纪90年代初在美国研制成功,随后在NASA的喷气推进实验室(JPL)得到迅猛发展,并已开始航天应用。

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