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磁控溅射沉积PZT/Pt薄膜异质结构的研究

郭杰  王静宇  李振豪  
【摘要】:在SiO2/Si衬底上采用直流磁控溅射沉积复合金属薄膜Pt/Ti作为电极,薄膜电导率高,结构致密且表面无空洞等缺陷;在Pt/Ti/SiO2/Si结构衬底上采用射频磁控溅射沉积锆钛酸铅薄膜(Pb(Zr1-xTix)O3,PZT),经退火后结晶形成具有热释电性质的钙钛矿结构薄膜,热释电系数达到1.1531×10-(?)Ccm-2k-1。

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