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电极表面TiB_2薄膜改性后的真空绝缘效果

方仁昌  罗四维  
【摘要】:一定结构的半球(阴极)-平板(阳极)组成的真空间隙,来模拟特种电真空器件中电板间的微放电过程。用IBAD(离子束辅助沉积)法,在阴极半球面上沉积出结合程度很高的晶化TiB_2薄膜。实验证明:相比不锈钢材料,在高达1000℃的温度下,表面几乎不氧化;在单次脉冲高压作用下,在经受数百次高能微粒子轰击后,还能承受更高电压,放电特征参数更弱,对脉冲电源形成的动态负载更轻。

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