含氢类金刚石薄膜的制备及其光学常数研究

【摘要】：利用非平衡磁控溅射技术制备类金刚石薄膜时,在放电气体中引入含-CH3原子团的甲烷气体,即采用反应磁控溅射技术得到含氢DLC薄膜,实验系统如图1所示。对反应气体流量进行工艺优化后,薄膜沉积速率可提高到3.8nm/min;氢元素的加入使得折射率、消光系数降低,其中消光系数的变化比较明显,减小一个数量级,详见图2;在1064nm处,采用典型制备工艺参数,含氢DLC薄膜复折射率可到达1.7032～i0.0041,根据CH4气体流量的不同,复折射率小范围上下变动;相同厚度的DLC薄膜,在3-5mm波段,反应气体的加入使得峰值透过率增高15%。

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3	马会中,张兰,张兵临,胡欢陵;类金刚石薄膜冷阴极场发射研究进展[J];光电子.激光;1999年01期
4	李建超,苏俊宏;薄膜光学常数的模拟退火算法研究[J];光学与光电技术;2005年01期
5	喻志农,朱昌,杭凌侠,严一心;脉冲多弧离子镀技术制备的类金刚石薄膜的硬度及电阻率[J];真空电子技术;1999年04期
6	马会中,张兰,姚宁,李运均,毕兆琪,王小平,张兵临,胡欢陵;掺氮对类金刚石薄膜场发射的影响[J];电子与信息学报;2001年11期
7	刘贵昂,王天民,游佩林,李奇良;γ射线辐照对类金刚石薄膜中氢含量的影响[J];光学学报;2002年04期
8	刘贵昂,谢二庆,王天民;类金刚石薄膜的紫外辐照研究[J];功能材料;2002年05期
9	孙书龙,杨会生,王燕斌,熊小涛;霍尔离子源制备类金刚石薄膜研究[J];真空科学与技术;2003年03期
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11	周顺,严一心;脉冲真空电弧离子镀沉积类金刚石薄膜的结构和力学性能研究[J];西安工业学院学报;2004年04期
12	张万虎,谭宇,师建涛,刘永强,胡仓陆;射频等离子体法制备类金刚石薄膜[J];应用光学;2003年06期
13	李建超,苏俊宏,徐均琪;类金刚石薄膜光学常数拟合模型的合理性研究[J];应用光学;2004年05期
14	梁海锋,严一心;类金刚石薄膜光学特性的椭偏法研究[J];真空科学与技术;2005年04期
15	刘贵昂;类金刚石膜及其淀积条件的研究[J];大自然探索;1998年04期
16	姚东升,刘晶儒,王丽戈,李铁军,俞昌旋,詹如娟;超短脉冲准分子激光淀积类金刚石薄膜的实验研究[J];光学学报;1999年02期
17	吴正龙,覃礼钊,王平,张通和,吴瑜光;聚脂膜衬底上的类金刚石薄膜[J];北京师范大学学报(自然科学版);2005年01期
18	朱纪军,陆祖宏,仲昕,左敦稳,王珉;类金刚石薄膜的喇曼光谱高斯分解研究[J];应用科学学报;2000年01期
19	欧阳钢,郭建,颜晓红;PLD法制备纳米类金刚石薄膜及衬底温度的影响[J];光电子.激光;2004年12期
20	王嘉鸥,奎热西,买买提依明,苏润,钱海杰,洪才浩,程峰,李波;类金刚石薄膜的同步辐射光电子能谱研究[J];核技术;2005年02期

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1	梁海锋;严一心;;类金刚石薄膜的光学性能的研究[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
2	梁海锋;严一心;;类金刚石薄膜的光学性能的研究[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
3	黄光伟;杨静;张红梅;;ZnS基底沉积类金刚石薄膜的研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
4	周毅;孙丽丽;汪爱英;;多样品分析法测定吸收薄膜的厚度与光学常数的研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
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7	张广安;王鹏;陈友明;王霞;闫鹏勋;张俊彦;;含铝类金刚石薄膜的结构及机械性能研究[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
8	赵栋才;任妮;马占吉;邱家稳;肖更竭;武生虎;;掺铜对DLC膜力学性能影响研究[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
9	王吉会;贺小明;路新春;温诗铸;;等离子辅助沉积DLC膜的结构和微摩擦磨损特性[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
10	居建华;夏义本;张伟丽;余璐;王林军;史为民;;类金刚石薄膜/HgCdTe晶体界面应力的有限元分析[A];2000年材料科学与工程新进展（上）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年

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3	梅显秀;强流脉冲离子束类金刚石薄膜沉积及高速钢辐照处理研究[D];大连理工大学;2002年
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5	陈红;氢化纳米硅薄膜的光学常数和室温可见发光研究[D];上海交通大学;2007年
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7	高尚;纳米尺度薄膜的制备及其光学性质的椭偏研究[D];山东大学;2013年
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