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矩形截面细长管状基底内表面原子层沉积模型

熊玉卿  任妮  
【摘要】:利用气体吸附动力学理论,分析了利用原子层沉积技术在长径比大于50的细长管状基底内表面镀制薄膜的可行性。研究表明,该技术途径是可行的,可在管道内表面镀制厚度均匀的薄膜。并建立了管状基底内表面原子层沉积模型

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