收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

等离子体离子注入管筒内壁自激射频放电等离子体特性(英文)

巩春志  田修波  朱宗涛  杨士勤  
【摘要】:PⅢ处理管筒内表面轴向均匀性是离子注入一项较为棘手的问题。如何在有限的空间内产生均匀的等离子并实现注入是这项技术的关键。本文采用不锈钢管筒自身直接作为射频天线,在管筒内部获得了稳定的辉光放电等离子体。针对该等离子体源新模式,采用Langmuir扫描探针对管筒内等离子体特性进行了诊断,确定了等离子体离子密度的空间分布特性并系统研究了气压、射频功率、管筒几何尺寸等宏观参数对其分布的影响。管筒自源等离子体激励放电规律的研究表明:相对于传统管外辅助等离子体源技术,采用该新模式,管筒内部能够获得高密度且相对均匀(轴向士75mm范围内不均匀度低于15%)的等离子体。提高射频功率,可以增加等离子体密度,但其分布均匀性下降;改变工作气压,等离子体密度的变化不明显,分布均匀性略有提高;管长变化对其均匀性影响较小。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 赵恒昌,H.J.Baker,D.R.Hall;射频放电波导CO激光器[J];中国激光;1993年03期
2 黄建军,余建华,D.Teuner;射频放电阻抗测量用于等离子体诊断研究[J];物理学报;2001年12期
3 余建华,赖建军;具有空心阴极放电特征的射频放电的两电子组模型[J];强激光与粒子束;2004年08期
4 李国富,桑凤亭,王增强,陈方,房本杰;电激励O_2(a~1Δ_g)发生器的实验研究[J];强激光与粒子束;2004年09期
5 黄建军,余建华,D.Teuner;射频激励铜离子激光器阻抗特性实验研究[J];中国激光;2002年02期
6 虞海平,周萍,李郁芳,吴征铠;硅甲烷射频放电分解动力学的CARS光谱研究[J];光学学报;1990年07期
7 朱武飚,王友年,邓新禄,马腾才;负偏压射频放电过程的流体力学模拟[J];物理学报;1996年07期
8 钟旭滨,刘金廷,刘炳模;铷原子射频放电光电流光谱研究[J];量子电子学报;1986年04期
9 吴嘉达,伍长征,李富铭;激光诱导荧光方法对SiH_4N_2混合气体放电等离子体的研究[J];光学学报;1990年04期
10 酆惠芬,王雪顽,张连成;常压下射频放电的实验研究[J];高电压技术;1995年02期
11 曹锋光,王新兵,汪盛烈,杨海,何云贵;射频CO_2激光器实用功率控制器的设计[J];激光杂志;2004年04期
12 王新兵;;室温工作的射频放电激励板条CO激光器[J];华中科技大学学报(自然科学版);2006年01期
13 高爱华,周引穗,陆治国;射频放电CO_2激光器放电区物理过程的研究[J];光子学报;1999年04期
14 邱华檀,王友年,马腾才;碰撞效应对入射到射频偏压电极上离子能量分布和角度分布的影响[J];物理学报;2002年06期
15 张德玲,曹锋光,韩晏生,王又青;射频CO_2激光器电源激励功率与频率关系的研究[J];激光技术;2005年02期
16 何凡;王新兵;肖丹;张学玲;;O_2中α型射频放电的理论研究[J];光学与光电技术;2007年04期
17 汪洪源;李国富;多丽萍;桑凤亭;王新兵;金玉奇;;板条射频放电产生单重态氧实验研究[J];强激光与粒子束;2007年12期
18 朱祝彪;严光耀;郑一善;;射频放电型激光波长定标器[J];应用激光;1987年02期
19 李贵安,宋建平,张相臣,唐令西,李貅;射频激励平板CO_2激光器放电机理的理论研究[J];激光杂志;2002年06期
20 孙心瑗;周灵平;李宇农;易学华;陈本敬;;射频放电辅助热丝CVD金刚石生长速率的研究[J];人工晶体学报;2007年02期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 巩春志;田修波;朱宗涛;杨士勤;;等离子体离子注入管筒内壁自激射频放电等离子体特性(英文)[A];真空技术与表面工程——第九届真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2009年
2 巩春志;田修波;朱宗涛;杨士勤;;等离子体离子注入管筒内壁自激射频放电等离子体特性[A];第九届真空冶金与表面工程学术会议论文摘要集[C];2009年
3 孙倩;张连珠;;N_2-Ar混合射频放电的等离子体特性研究[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
4 霍纯青;刘福平;陈强;;大气压射频放电中N_2、O_2粒子间相互作用数值模拟[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(二)[C];2008年
5 霍纯青;刘福平;陈强;;大气下射频放电过程的流体模型模拟[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
6 金晓林;;电子回旋共振放电的数值模拟[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
7 李斌;陈强;;氩气大气压射频介质阻挡放电实验研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
8 刘万东;王慧慧;;利用微波点探针测量等离子体密度[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
9 张远涛;何金;赵彤;李清泉;;大气压射频等离子体的频率与尺度效应[A];第十五届全国等离子体科学技术会议会议摘要集[C];2011年
10 刘忠伟;李斌;陈强;李朝阳;王正铎;;大气压射频等离子体中活性物种的发射光谱原位诊断[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 尚万里;大气压射频辉光放电模式转换机制的流体力学模拟[D];大连理工大学;2009年
2 彭浩;高功率板条CO_2激光器射频放电技术研究[D];华中科技大学;2012年
3 张学玲;气体放电单重氧发生器的理论与实验研究[D];华中科技大学;2010年
4 王一男;射频高气压混合气体放电数值研究[D];大连理工大学;2013年
5 胡祖权;尘埃空洞及极地中层夏季回声的有关理论研究[D];中国科学技术大学;2011年
6 王奇;大气压辉光放电模式及均匀性数值模拟研究[D];大连理工大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 姚福保;H_2-N_2混合气体容性射频放电特性的PIC/MCC模拟[D];河北师范大学;2010年
2 张兆吉;若干等离子体现象的粒子模拟[D];大连理工大学;2006年
3 王懿翎;射频电容耦合等离子体的流体动力学/Monte-Carlo混合模型数值模拟[D];大连理工大学;2007年
4 蔡叶青;常压脉冲调制射频介质阻挡辉光技术研究[D];东华大学;2010年
5 肖允庚;射频容性耦合等离子体物理特性的PIC/MCC模拟研究[D];大连理工大学;2008年
6 肖丹;射频放电氧等离子体特性研究[D];华中科技大学;2007年
7 胡庆;低温等离子体放电过程的数值模拟[D];电子科技大学;2007年
8 肖瑜;高功率射频CO_2激光器放电机理研究[D];华中科技大学;2008年
9 王燕;SiH_4/N_2/O_2脉冲调制射频放电的流体力学模拟[D];大连理工大学;2011年
10 郑新新;电压电流探头相位标定及在脉冲调制射频大气压放电中的应用[D];大连理工大学;2012年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978