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基于Atemga128的磁控溅射镀膜机(英文)

刘艳涛  马剑平  
【摘要】:介绍应用于石英晶体谐振器制造的双靶真空镀膜机,以Atemga128单片机为核心,与上位机进行数据传递,真空镀膜包括真空获得、电离清洗、磁控溅射等工艺过程,可实现多种金属电极的镀膜要求,并实现谐振器的制造工艺要求。

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