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蓝宝石衬底上外延生长MgO薄膜过程中的应力研究

刘莹莹  朱俊  罗文博  张鹰  李言荣  
【摘要】:正MgO薄膜以其可在低温下实现外延生长,具有很好的热稳定性与化学稳定性,优良的界面性能及电学性能等特性,常被作为诱导多元氧化物功能薄膜的缓冲层材料,对其异质外延过程中应变行为及其控制方法的研究愈加备受重视。MgO薄膜通过激光分子束外延(LMBE)一反

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