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脉冲电弧沉积的掺钛多层类金刚石薄膜性能研究

任妮  赵栋才  肖更竭  马占吉  武生虎  
【摘要】:正为了降低类金刚石薄膜的应力,采用电弧离子镀膜技术在金属基底(TC4)上制备了由不同钛含量的纳米层类金刚石组成的多层薄膜,钛含量从基底向表层减少,最外层是用离子束辅助方式制备的类金刚石薄膜。研究结果表明,不同过渡层的两种多层薄膜的厚度分别为2.2μm、

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