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基于光纤干涉仪的镀膜机不透明膜膜厚自动监测和控制系统

彭保进  沈亚强  万旭  应朝福  叶慧群  朱银燕  
【摘要】:正设计了一廉价实用的不透明膜膜厚实时监测和控制系统。采用光纤干涉仪结合计算机软件监测真空镀膜机中的镀层膜厚。将干涉仪的其中一臂(传感臂)伸入镀膜机钟罩内,结合透镜组,使光扩束成平行光后垂直入射到镀层表面,让反射光沿原路返回,从而使传感臂的光程随

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