直流等离子体增强热丝化学气相沉积法(DC-Plasma-Enhanced HF-CVD)制备金刚石—碳化硅复合薄膜

【摘要】：正采用直流等离子体增强热丝化学气相沉积法,以四甲基硅烷(Si(CH_3)_4,TMS)为硅源制备金刚石碳化硅复合薄膜,将其作为中间层,以提高金刚石薄膜与基体之间的粘附性。用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、电子探针显微分析(EPMA)和拉曼光谱(Raman)对薄膜进

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中国期刊全文数据库

前20条

1	;碳化硅表面双层碳膜制备取得新进展[J];电子元件与材料;2011年07期
2	刘霞;;首款石墨烯集成电路研制成功[J];前沿科学;2011年02期
3	张鸿福;;180kA预焙槽炉帮的建立及破损原因分析[J];青海科技;2011年03期
4	李军;;太空战机的新外衣[J];百科知识;2011年16期
5	王世霞;郑海飞;;方解石高压相变的拉曼光谱研究[J];光谱学与光谱分析;2011年08期
6	张剑寒;方刚;张宇民;;空间反射镜轻量化技术的研究进展[J];光学仪器;2009年03期
7	付亚惠;李治明;刘建全;;氧碳对太阳能级直拉单晶硅品质影响初探[J];青海科技;2011年03期
8	王海波;;SiC表面的氢等离子体处理技术[J];黑龙江科技信息;2011年23期
9	;[J];;年期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
15	;[J];;年期
16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	王陶;施维;项礼;姜辛;;直流等离子体增强热丝化学气相沉积法(DC-Plasma-Enhanced HF-CVD)制备金刚石—碳化硅复合薄膜[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
2	王陶;施维;项礼;姜辛;;直流等离子体增强热丝化学气相沉积法(DC-Plasma-Enhanced HF-CVD)制备金刚石-碳化硅复合薄膜的初步研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
3	梁长浩;孟国文;吴玉程;张庶元;张立德;;准一维β-SiC纳米丝的制备、表征与物性研究[A];2000年材料科学与工程新进展（上）——2000年中国材料研讨会论文集[C];2000年
4	张永华;彭军;;蓝宝石复合衬底上生长的碳化硅薄膜的结构分析[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
5	韩凤兰;吴澜尔;陈宇红;;气流磨尾尘的超细粉碎[A];第七届全国颗粒制备与处理学术暨应用研讨会论文集[C];2004年
6	高积强;;SiC材料应用的现在与未来[A];电子信息产业炉窑技术与材料节能研讨会会议资料[C];2006年
7	杨艳;;化学气相沉积碳化硅[A];第三届全国化学工程与生物化工年会论文摘要集（下）[C];2006年
8	李金望;田杰谟;董利民;;碳化硅前驱体的制备和结构分析[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
9	李金山;桑可正;吕振林;刘林;;颗粒级配SiC-Si复相陶瓷的干摩擦磨损特性[A];第七届全国摩擦学大会会议论文集（一）[C];2002年
10	刘岩;黄政仁;董绍明;杨金晶;江东亮;;孔筋对碳化硅泡沫陶瓷力学性能的影响[A];2004年中国材料研讨会论文摘要集[C];2004年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	于威;晶态氮化碳薄膜沉积及其生长机理研究[D];河北大学;2002年
2	朱教群;三元层状碳化物Ti_3SiC_2的制备及性能研究[D];武汉理工大学;2003年
3	孟永强;双重加热法合成碳化硅晶片的研究[D];中国地质大学（北京）;2008年
4	陈玉峰;碳化硅/炭黑水基料浆凝胶注模成型的研究[D];中国建筑材料科学研究院;2003年
5	李炳生;低温生长高质量氧化锌薄膜及其特性研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2002年
6	杨林安;4H碳化硅射频功率金属半导体场效应晶体管的模型及工艺研究[D];西安电子科技大学;2003年
7	邹优鸣;宽带隙半导体ZnO（及SiC）薄膜的制备及其物性研究[D];中国科学技术大学;2006年
8	郭辉;SiC器件欧姆接触的理论和实验研究[D];西安电子科技大学;2007年
9	郜锦侠;4H-SiC隐埋沟道MOSFET理论和实验研究[D];西安电子科技大学;2005年
10	陈征;Si基SiC薄膜和低维SiO_2的生长及其光致发光机理研究[D];中国科学技术大学;2007年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	刘海林;反应烧结碳化硅凝胶注模成型工艺及烧结体性能研究[D];中国建筑材料科学研究院;2004年
2	陈雪萌;用LPCVD法在硅衬底上生长3C-Sic[D];西安理工大学;2002年
3	李改叶;AL_2O_3-SiC复合材料结构与性能的研究[D];武汉科技大学;2004年
4	辛峰;碳化硅非线性电阻灭磁系统在线监测研究[D];华北电力大学（北京）;2010年
5	程小强;多晶硅源漏SiC N-MOSFET关键技术研究[D];西安电子科技大学;2007年
6	张明亮;硅系合金生产中SiC的生成及其对炉内反应的影响[D];内蒙古科技大学;2007年
7	郑勇;高比表面积碳化硅的合成及在氨合成反应的应用[D];福建师范大学;2007年
8	常远程;碳化硅肖特基势垒二极管静态特性的研究[D];西安电子科技大学;2001年
9	郜锦侠;碳化硅PMOS器件特性模拟及仿真[D];西安电子科技大学;2002年
10	曹菊芳;SiC/Fe-Al金属间化合物界面固相反应的研究[D];合肥工业大学;2008年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	记者李建新;滨河碳化硅四项指标世界第一[N];宁夏日报;2010年
2	记者杨沛洁;易成碳化硅新年实现“开门红”[N];平顶山日报;2009年
3	记者朱军备通讯员吴王斌张文胜;“伏尔肯”新流水线投产[N];宁波日报;2007年
4	本报记者王伟丽;天富热电碳化硅项目再添盈利点[N];上海证券报;2007年
5	胡全基;天祝碳化硅冶炼工业快速发展[N];武威日报;2008年
6	何讯;企业呼吁——海关应分类管理碳化硅出口[N];国际经贸消息;2001年
7	;我国碳化硅技术取得重大进展[N];中国冶金报;2003年
8	;天富热电(600509) 碳化硅晶片成功投产[N];中国证券报;2007年
9	见习记者崔凯;天富热电碳化硅项目显战略意义[N];证券时报;2008年
10	郑岩;液相烧结碳化硅高性能结构陶瓷通过验收[N];中国建材报;2008年

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