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脉冲偏压电弧离子镀DLC-MeN复合薄膜

李红凯  林国强  董闯  
【摘要】:正类金刚石(Diamond-Like Carbon,DLC)薄膜是指一系列含有sp~3键的非晶碳膜,因为它具有硬度高、弹性模量大、摩擦系数低、热导率高、热膨胀系数小等优点而被广泛关注。但是,由于DLC薄膜在生长过程中会产生较大的内应力,极大地降低了薄膜与基体的结合强度,从而限

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