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纳秒脉冲常压辉光放电等离子体及薄膜表面改性研究

王守国  
【摘要】:正基于纳秒脉冲的辉光等离子体采用半导体断路开关的纳秒脉冲高压电源,在两个大面积金属电极之间产生放电区间为1600×100×25 mm~3的常压辉光空气等离子体,该放电区间的等离子体不像常压介质阻挡放电,没有明显的微弧存在,采用电流和电压探针研究了该新型等离子体

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