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ZnO基薄膜的铁电、压电与多铁性能研究

杨玉超  潘峰  
【摘要】:正ZnO 是一种综合了优良的光学、压电和半导体特性的宽禁带 n 型半导体材料,在蓝光及紫外发光二极管、声表面波器件、微机电系统和气体传感器等领域有着广泛的应用。近年来,国内外一些研究小组陆续发现通过 Li 元素或 Mg 元素的掺杂,ZnO 会表现出崭新的铁电特性,这

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