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氦放电等离子体射流的实验研究

江南  
【摘要】:正在大气压条件下放电产生非平衡等离子体为各种等离子体工艺带来许多好处。首先是去掉了在高真空设备上的投资,再一个就是为工件的操作带来了便利,提高了工作效率,不必为抽真空和从真空恢复到大气压再耗费过多的时间。

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