真空系统内残余气体的分析与抽除
【摘要】：在真空系统中,残余气体是影响真空工艺性能及真空器件寿命的重要因素。因为真空系统中的残余气体及某些有害气体,会破坏真空系统的性能,还可能会促发某些损坏真空室内应用器件的现象。在实际工作中,有时不但要降低真空器件中残余气体的量,更要控制残余气体的成份。本文对不同抽气系统内的残余气体进行了分析,并对改进超高真空系统的排气手段和降低真空系统内残余气体分压力的抽气方法进行了较详细的介绍和论述。
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| 1 |
张以忱;第十三讲:真空系统的检测技术[J];真空;2005年04期 |
| 2 |
王泉清
,彭光霞;真空技术问答(译文)[J];真空;1978年03期 |
| 3 |
岑力民;;超高真空系统的表面吸附对抽气时间的影响[J];真空与低温;1986年01期 |
| 4 |
黄本诚;成致祥;张恩光;罗舜生;韩肇本;;我国一台大型空间环模设备获得超高真空[J];真空科学与技术学报;1983年01期 |
| 5 |
毕龙生,陈光奇;多层绝热低温容器真空夹层中的残余气体质谱分析[J];真空科学与技术;1987年05期 |
| 6 |
陈猛,杨津基,韩旻;残余气体对等离子体制备聚合膜的影响[J];真空科学与技术学报;1996年02期 |
| 7 |
毛祖遂;张训生;鲍世宁;徐亚伯;;一台表面分析仪的超高真空系统设计与调试[J];真空科学与技术学报;1985年03期 |
| 8 |
张以忱;真空技术及应用系列讲座 第十二讲:真空工艺[J];真空;2003年06期 |
| 9 |
张以忱;;真空技术及应用系列讲座 第十六讲 真空系统的操作与维护[J];真空;2009年06期 |
| 10 |
周锦宝,陈鹤芳,何凡;BEI─1电子直线加速器中残余气体的质谱分析[J];真空;1985年01期 |
| 11 |
孙大明;一台起动快维持久的小型无油玻璃超高真空系统[J];真空科学与技术;1986年02期 |
| 12 |
张以忱;;第十六讲 真空系统的操作与维护[J];真空;2010年03期 |
| 13 |
董光军;朱秀珍;周小雯;殷志强;;全玻璃真空太阳集热管真空度测量及残气分析[J];太阳能学报;2006年12期 |
| 14 |
张以忱;;第十六讲 真空系统的操作与维护[J];真空;2008年05期 |
| 15 |
罗根松,曹羽;罗茨真空泵性能考核指标——极限压力的探讨[J];真空;1998年02期 |
| 16 |
轩福贞,刘长军,李培宁;含环向裂纹等径焊制三通极限压力(Ⅰ)——有限元分析[J];石油化工设备;2001年04期 |
| 17 |
张以忱;真空技术及应用系列讲座 第十三讲:真空系统的检测技术[J];真空;2005年03期 |
| 18 |
陈长琦;窦仁超;胡建生;;EAST装置残余气体测控系统的设计[J];真空;2010年04期 |
| 19 |
杨乃恒;;关于冶金真空系统节约能源的几点意见[J];真空科学与技术学报;1981年03期 |
| 20 |
周增圻,吴魁,李志义,刘宝祥;闭循环制冷机低温泵的调试[J];真空科学与技术;1986年Z1期 |
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