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不同溅射功率的多晶Fe_3O_4薄膜的结构和性质

李鹏  张寅  米文博  姜恩永  白海力  
【摘要】:正Fe_3O_4由于其半金属特性而受到越来越多的关注。本论文用对向靶磁控溅射法在室温下制备了不同溅射功率(P=316,364,435,486W)的多晶 Fe_3O_4薄膜。 X 射线衍射的结果表明,随着溅射功率的下降,多晶 Fe_3O_4薄膜的(311) 方向的纵向相关长度变大,结晶变好。X 射线光电子能谱和拉曼光谱的分析表明

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