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脉冲辉光PECVD制备DLC薄膜的结构和性能研究

楚信谱  苟伟  李剑锋  张礼平  李国卿  
【摘要】:正类金刚石薄膜以其优异的性能,诸如高电阻率、高硬度、低摩擦系数、良好的光学特性等,显示出良好的应用前景越来越受到人们的关注。本文利用脉冲辉光 PECVD 在不同的气体比例和不同的脉冲偏压下均成功的制备了 DLC 薄膜。采用

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