收藏本站
收藏 | 论文排版

TiC薄膜的性能研究

邵霄  朱昌  梁海锋  
【摘要】:正在各种新的工具涂层材料中,TiC 薄膜因其具有较好的综合性能,并且硬度一般在26-31GPa。TiC 薄膜可以通过化学气相沉积(CVD)或各种物理气相沉积(PVD) 的方法制备。其中,PVD 磁过滤直流电弧离子镀方法制备的 TiC 薄膜具有离子能量高、沉积温度低和沉积效率高,且具有一定的离子轰击作用,从而可达到较高的膜/基结合强度等优点。TiC 的反应溅射可采用各种含碳气体,如甲烷(CH_4)、乙炔(C_2H_2)等。已有的研究表明,高活性的乙炔气体可得到高硬度的 TiC 薄膜,但工艺和质量的重复性较差。甲烷等化学稳定的碳源气体能够保证工艺过程的良好控制。本文研究了不同 CH_4流量对 TiC 薄膜的相组成、微结构和力学性能的影响。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 王维新;卫广智;;NiCoCrAlYSiB+AlSiY梯度涂层的组织结构[J];现代机械;2011年03期
2 郑陈超;陈康敏;张晓柠;黄燕;关庆丰;宫磊;孙超;;弧电流对电弧离子镀CrN硬质涂层组织性能的影响[J];航空材料学报;2011年04期
3 吴霞;张锐;张而耕;;物理气相沉积涂层冲头开裂原因的失效分析[J];机械制造;2011年04期
4 曹华伟;张程煜;乔生儒;曹晓雨;;物理气相沉积TiAlN涂层的研究进展[J];材料导报;2011年11期
5 张健;郭策安;张罡;郝士明;;PCrNi3MoVA钢表面电弧离子镀Ti_(0.7)Al_(0.3)N涂层的性能研究[J];兵工学报;2011年06期
6 李莉平;;TiN类膜制备工艺的研究进展及应用[J];产业与科技论坛;2011年04期
7 ;省教育厅考察我校2011年产业化培育项目[J];陕西科技大学学报(自然科学版);2011年04期
8 崔秋红;赵永生;姚建年;;一维有机微纳米光功能材料研究进展[J];中国科学:化学;2011年08期
9 宋贵宏;金弢;熊焰;娄茁;杜昊;;Cu丝上沉积Ti/TiN多层膜的研究[J];真空;2011年04期
10 王金发;宋学全;张珂禹;;精密复杂高速钢刀具涂层技术分析[J];机械工程师;2011年07期
11 马玉平;闫兴书;袁根福;陈明;;高速钢基体表面金刚石涂层研究的进展[J];材料保护;2011年06期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 杜军;张平;蔡志海;赵军军;;永磁体表面电弧离子镀制备ZrN薄膜的结构与性能[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
2 马占吉;任妮;Dmitri A.Karpov;;大型电弧离子镀膜设备[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
3 汪亮明;徐志潜;田美凤;过骐千;;塑料表面金属化及应用[A];2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2004年
4 邵霄;朱昌;梁海锋;;TiC薄膜的性能研究[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
5 张建华;张勤俭;张勤河;秦勇;毕进子;朱学诚;;沉积偏压对电弧离子镀TiN涂层质量的影响[A];特种加工技术——2001年中国机械工程学会年会暨第九届全国特种加工学术年会论文集[C];2001年
6 赵栋才;肖更竭;马占吉;武生虎;任妮;;碳纤维复合材料表面电弧离子镀铝膜附着力研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
7 高玉周;周文龙;徐久军;严立;;电弧离子镀复合薄膜(Ti_xNb_(1-x))N的结构、组织及其滑动磨损性能[A];21世纪全国耐磨材料大会——第九届全国耐磨材料磨损失效分析与抗磨技术学术会议论文专辑[C];2000年
8 张政军;;物理气相沉积制备纳米结构薄膜[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
9 宋贵宏;邹友生;陈立佳;李锋;王启民;宫骏;孙超;;电弧离子镀沉积富碳的TiC薄膜研究[A];2004年材料科学与工程新进展[C];2004年
10 闻立时;黄荣芳;;脉冲偏压电弧离子镀的发展现状及前瞻[A];2005'全国真空冶金与表面工程学术会议论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 黄美东;脉冲偏压电弧离子镀低温沉积研究[D];大连理工大学;2002年
2 赵彦辉;脉冲偏压电弧离子镀沉积超硬多层薄膜[D];大连理工大学;2006年
3 戚栋;电弧离子镀的等离子体负载特性与脉冲偏压电源研究[D];大连理工大学;2005年
4 陈利;Ti-Al-N基硬质涂层的热稳定性能、微结构及其力学、切削性能的研究[D];中南大学;2009年
5 吕树国;脉冲N离子束辅助电弧离子镀沉积TiAlN膜层的研究[D];东北大学 ;2009年
6 陈军;复合氮化物硬质涂层的HIPIB辐照研究[D];大连理工大学;2009年
7 高玉周;耐磨梯度表面层的制备及其滑动摩擦学特性的研究[D];大连海事大学;2000年
8 谢国胜;汽轮机末级叶片抗水蚀氮化碳/氮化钛复合涂层制备及其相关基础研究[D];中南大学;2008年
9 闫伟;Ti-60合金表面电弧离子镀Ti-Al-Cr高温防护涂层研究[D];东北大学 ;2010年
10 李红凯;碳基纳米复合薄膜及应用研究[D];大连理工大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 周珊珊;镁合金压铸模用H13钢表面电弧离子镀膜的研究[D];太原理工大学;2010年
2 孙亮;电弧离子镀内孔镀膜研究[D];大连理工大学;2010年
3 肖惠军;钛义齿支架电弧离子镀技术的实验研究[D];第四军医大学;2005年
4 袁永;电弧离子镀纳米二氧化钛薄膜的制备及相关特性研究[D];暨南大学;2005年
5 袁方园;利用朗缪尔双探针诊断电弧离子镀等离子体参数[D];大连理工大学;2009年
6 隋振中;AIP脉冲偏压电源及等离子体诊断系统的设计与应用研究[D];大连理工大学;2003年
7 唐为国;TiN/(Ti,Al)N复合多层膜的制备及研究[D];兰州大学;2006年
8 姜迎新;厚Ti/TiN多层涂层力学性能与摩擦学性能研究[D];兰州大学;2006年
9 杨苹丽;电弧离子镀NiCoCrAlY(SiB)涂层的组织结构及性能研究[D];吉林大学;2006年
10 徐向荣;电弧离子镀Ti-Cr-Ce-N系涂层的制备及性能研究[D];广东工业大学;2005年
中国重要报纸全文数据库 前6条
1 ;形成电磁波干扰遮蔽膜的方法[N];中国有色金属报;2002年
2 薛群基 陈建敏;固体润滑材料[N];光明日报;2000年
3 ;关注触摸屏等新应用市场[N];中国电子报;2009年
4 记者 艾贤;在粤院士又增两名[N];广东科技报;2009年
5 李勇;加强新技术研究 提高热作模具钢性能[N];中国冶金报;2010年
6 杨雄飞;冷作工具钢及其热处理工艺进展[N];世界金属导报;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978