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氧化膜光学常数的椭圆偏振测试研究

林斯勤  赖新春  吕学超  张永彬  张厚亮  黄文莉  
【摘要】:研究膜层的光学常数是了解膜层光学性质非常重要的一部分,尤其是对氧化膜的折射率和消光系数测量。研究镀膜及自然氧化膜的折射率和消光系数对建立光学模型、了解膜层的性质等具有切实的意义,并给其他的光谱法提供了参数, 也为获得氧化层厚度等信息奠定了基础。

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