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不同的真空热处理方式对碳膜性能的影响

朱小琴  杭凌侠  
【摘要】:正采用不同方法制备的硬碳膜的性能的研究报道已很多,研究表明,碳膜可以在无润滑、腐蚀性介质、真空、高温以及低温等环境下应用。但碳膜中应力的存在限制了其应用,通过改善制备工艺只能降低而不能消除膜中内应力.采用真空退火的方法可进一步降低内应力,但较高温度退火将使碳膜的结构发生变化反而损失部分有益的性能.本文鉴于此,研究了不同温度下不同的真空热处理方式对碳膜的电学、光学和机械性能的影响,为找到合适热处理温度点来消除碳膜内应力来尽量保持碳膜的主要优良性能打下基础。

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