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纳米薄膜的介观尺度性能的实验表征

徐可为  杨吉军  刘明霞  刘波  张洋  胡永锋  
【摘要】:正随着其特征尺度不断向亚微米与纳米尺度减小,薄膜通常表现出与块体材料迥异的性能,因此,对介观尺度下薄膜性能进行实验表征具有非常重要的意义。本文着重探讨了纳米多层膜的调制结构及其电学与力学性能的尺寸效应、铜互连膜基体系自对准 CuSiN 层的微结构及性能表征与薄膜表面多尺度动态演化行为。

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