电子束物理气相沉积钇钛合金薄膜的组分和厚度分布(英文)

【摘要】：大面积薄膜的组分和厚度分布是实际工艺中最为关心的问题之一。本文利用实验和直接模拟Monte Carlo(DSMC)方法,分别研究了双电子束和三电子束物理气相沉积(EB- PVD)中,钇和钛蒸气原子的三维低密度、非平衡射流,获得了它们在4英寸和6英寸单晶硅基片表面的沉积厚度和组分的分布。DSMC结果与钇和钛的蒸发速率的石英晶振探头原位测量值,沉积薄膜厚度分布的台阶仪和卢瑟福背散射仪的测量数据,沉积薄膜组分分布的卢瑟福背散射仪和电感耦合等离子体原子发射光谱仪测量值,均相符甚好。这表明通过DSMC方法与精细测量相结合,可在原子水平上实现EBPVD输运工艺的定量预测和设计。