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光学薄膜厚度的实时监控算法研究

黎永志  黄光周  帅福利  于继荣  
【摘要】:从工程的角度分析了传统斜率法判断极值点的固有局限性,然后建立监控信号的数学模型,在此基础上,运用现代数字信号处理技术和数学方法,设计了一种新的光学薄膜厚度实时监控算法。

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