光学薄膜厚度的实时监控算法研究

黎永志黄光周帅福利于继荣

【摘要】：从工程的角度分析了传统斜率法判断极值点的固有局限性,然后建立监控信号的数学模型,在此基础上,运用现代数字信号处理技术和数学方法,设计了一种新的光学薄膜厚度实时监控算法。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	郝殿中;韩培高;宋连科;;衬底温度对电子束沉积LaF_3薄膜表面形貌的影响[J];曲阜师范大学学报(自然科学版);2011年03期
2	杨淑敏;张伟;曹丽萍;;利用牛顿环干涉条纹测定薄膜厚度[J];长春师范学院学报;2011年08期
3	顾晓明;贾宏志;王铿;朱一;;透射光谱法测试薄膜的光学参数[J];光学仪器;2009年02期
4	王孝东;张锦龙;马彬;焦宏飞;丁涛;程鑫彬;;高损伤阈值三倍频分离膜[J];强激光与粒子束;2011年07期
5	谢平;李斌;刘定权;张素英;;电子束蒸发沉积碲锗铅薄膜的微结构和化学组分研究[J];光学仪器;2010年06期
6	张锋;郝殿中;;基板温度对电子束沉积LaF_3薄膜紫外性能的影响[J];聊城大学学报(自然科学版);2011年01期
7	薛锦;王平秋;刘琼;代礼密;;掺杂Gd_2O_3对ZrO_2薄膜负非均匀性的影响[J];光学仪器;2009年06期
8	廖春艳;范正修;邵建达;;Cr∶LiSAF飞秒激光器中Gires-Tournois镜的设计[J];光子学报;2011年08期
9	陈星;童晟飞;王正忆;叶兵;;椭圆偏振仪测量薄膜折射率及周期厚度解的分析[J];实验技术与管理;2011年06期
10	高鹏;阴晓俊;胡雯雯;赵帅锋;王瑞生;于振毅;徐秋玲;费书国;;《光学和光学仪器-光学薄膜》新国标的制定[J];光机电信息;2011年09期
11	王英龙;张鹏程;刘虹让;刘保亭;傅广生;;晶粒尺寸及衬底应力对铁电薄膜特性的影响[J];物理学报;2011年07期
12	颜家振;黄婉霞;张月;何鹏;李宁;;云母表面不同厚度VO_2薄膜的红外光学特性[J];红外与激光工程;2011年07期
13	彭真真;赵硕浛;刘月林;程匹克;陈程;;非接触法自动测量薄膜厚度[J];大学物理实验;2011年04期
14	赵晓锋;温殿忠;王天琦;丁玉洁;;SiO_2层上沉积的纳米多晶硅薄膜及其特性[J];纳米技术与精密工程;2011年03期
15	单永光;刘晓凤;贺洪波;范正修;;光学薄膜中节瘤缺陷研究进展[J];强激光与粒子束;2011年06期
16	;“中国兵工学会2011年光学与光电技术交流会”征文通知[J];光学技术;2011年04期
17	阮梁;马卫红;;外场激光光斑中心检测算法研究[J];光学仪器;2010年02期
18	张翼;何珂;马旭村;薛其坤;;拓扑绝缘体薄膜和有限尺寸效应[J];物理;2011年07期
19	;磁性材料、超导材料和器件[J];中国无线电电子学文摘;2011年04期
20	朱铄金;朱丽慧;黄清伟;;6.5～14μm红外长波通滤光片正面膜系的研制[J];光学仪器;2009年03期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	黎永志;黄光周;帅福利;于继荣;;光学薄膜厚度的实时监控算法研究[A];中国真空学会2006年学术年会论文集[C];2006年
2	乔明霞;黄伟;张彬;;用透射率测试曲线确定几种红外薄膜材料的光学常数和厚度[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
3	张殷华;黄伟;张云洞;;光学薄膜附着力测量方法[A];光电技术与系统文选——中国光学学会光电技术专业委员会成立二十周年暨第十一届全国光电技术与系统学术会议论文集[C];2005年
4	洪冬梅;朱震;刘国喜;;激光器使用的光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
5	洪冬梅;陈生;曹海云;朱震;王春;;红外用光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
6	姚兰芳;沈军;汪国庆;吴广明;吴兆丰;王珏;;蒸发诱导自组装法制备多孔二氧化硅光学薄膜[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
7	林炳;刘定权;张凤山;;离子束刻蚀光学薄膜的速率定标技术[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
8	陈焘;罗崇泰;王多书;熊玉卿;;TiO_2/Na_3AlF_6光学薄膜应力的研究[A];TFC’09全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2009年
9	刘志宇;王小辉;卫红;熊树林;;中频反应溅射镀制光学薄膜的研究[A];薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会论文集[C];2009年
10	马汶伟;;光学薄膜在照明领域的应用[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	白胜元;光学薄膜设计及其在光波分复用系统中的应用[D];浙江大学;2001年
2	薛晖;光学薄膜光学特性检测中若干关键问题的研究[D];浙江大学;2009年
3	韩军;光学膜厚宽带监控关键技术研究[D];西安电子科技大学;2011年
4	李再金;半导体激光器腔面光学膜关键技术研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2010年
5	史金辉;消偏振分光镜的设计与特性分析[D];哈尔滨工程大学;2007年
6	王成;介质薄膜膜基体系力学光学特性研究[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2005年
7	黄伟;中远红外激光薄膜技术研究[D];四川大学;2005年
8	孙雪铮;光学薄膜中超棱镜效应的研究[D];浙江大学;2008年
9	黄烽;新型功能光学薄膜的磁控溅工艺及物性研究[D];中国科学技术大学;2009年
10	王颖;中红外激光薄膜的研究与制备[D];浙江大学;2009年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	林宇翔;光学薄膜厚度实时监控系统及其反演的研究[D];浙江大学;2004年
2	钟俊;光学薄膜厚度实时监测系统的研究与实现[D];中国科学院研究生院（长春光学精密机械与物理研究所）;2010年
3	刘鹏程;光热偏转法评价光学薄膜的激光损伤[D];浙江大学;2003年
4	张淑娜;光学薄膜相位特性测试的研究[D];浙江大学;2011年
5	毛靖;新型有机—无机杂化光学薄膜的光敏特性研究[D];浙江大学;2010年
6	史金辉;消偏振分光棱镜膜系分析与设计[D];哈尔滨工程大学;2005年
7	鞠兵;高精度数字式光学膜厚监控系统的研制[D];四川大学;2005年
8	林琦;高能激光与光学介质薄膜作用机理的研究[D];长春理工大学;2010年
9	黄昱勇;光学薄膜在投影显示和光开关中的应用[D];浙江大学;2002年
10	邓洪祥;高功率激光作用下光学薄膜的场损伤研究[D];电子科技大学;2007年

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