ZrC/ZrB_2纳米多层膜的微观结构与机械性能的研究

【摘要】：选择 ZrC 和 ZrB_2为个体层材料,利用射频磁控溅射系统在室温下制备具有纳米尺寸的 ZrC/ZrB_2多层膜。通过 X 射线衍射仪、扫描电子显微镜、俄歇电子能谱、表面轮廓仪及纳米力学测试系统研究了调制周期与 ZrC,ZrB_2单层厚度比例 (t_(ZrC):t_(ZrB_2))对多层膜生长结构和力学性能的影响。结果表明,多层膜的界面清晰,调制周期性好,大部分多层膜的纳米硬度和弹性模量值都高于两种个体材混合相的值,在调制比例 t_(ZrC):t_(ZrB_2)=1:1．7、调制周期为32 nm 时,薄膜显示出很强的 ZrC(111)择优趋向和较弱的 ZrB_2(001)及 ZrB_2(002)结构,同时产生硬度异常升高的超硬效应,其硬度达到42GPa。多层膜的机械性能改善明显与其调制结构和多晶结构有着直接的联系。