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薄膜介观性能及其尺寸效应

徐可为  
【摘要】:正伴随着纳米科技及薄膜制备技术的迅猛发展,微电子器件、超深亚微米集成电路和微机电系统的膜/基和多层异质膜结构及内导线结构所用材料尺度逐渐由微米级减小到亚微米甚至纳米级,处于传统宏观与微观范畴之间的介观材料领域。薄膜材料性能的尺度效应、表面和界面效应及异质约束效应等愈加凸现,使

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