自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究

【摘要】：ZnO/金刚石结构的表面声学波滤波器的性能主要取决于沉积ZnO薄膜的质量。本文用金属有机化合物气相沉积两步生长法在自持化学气相沉积金刚石厚膜的成核面上制备了ZnO薄膜,并用X射线衍射谱,扫描电子显微镜和室温光荧光谱对薄膜质量进行了表征。结果表明得到的ZnO薄膜取向一致,表面较均匀,光学质量良好。

下载App查看全文

下载全文更多同类文献

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国期刊全文数据库

前20条

1	刘喜成;;康佳“11/19”系列液晶彩电机芯结构、维修要点及实例(上)[J];家电检修技术;2011年17期
2	;[J];;年期
3	;[J];;年期
4	;[J];;年期
5	;[J];;年期
6	;[J];;年期
7	;[J];;年期
8	;[J];;年期
9	;[J];;年期
10	;[J];;年期
11	;[J];;年期
12	;[J];;年期
13	;[J];;年期
14	;[J];;年期
15	;[J];;年期
16	;[J];;年期
17	;[J];;年期
18	;[J];;年期
19	;[J];;年期
20	;[J];;年期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	孙剑;杨天鹏;白亦真;徐艺滨;王新胜;杜国同;;自持金刚石厚膜上沉积ZnO薄膜的研究[A];全国薄膜技术学术研讨会论文集[C];2006年
2	水永安;王宁;林基明;吴浩东;;声表面波滤波器的拓朴加权[A];中国声学学会2002年全国声学学术会议论文集[C];2002年
3	刘久玲;何世堂;;梯型声表面波滤波器[A];中国声学学会2003年青年学术会议[CYCA'03]论文集[C];2003年
4	曾伦;谢和平;邓慧中;邓克强;陈建益;;Slanted-finger IDT的加权设计[A];2011'中国西部声学学术交流会论文集[C];2011年
5	李红浪;何世堂;梁勇;;宽带声表面波滤波器的匹配电路设计[A];中国声学学会2003年青年学术会议[CYCA'03]论文集[C];2003年
6	曾伦;谢和平;邓慧中;邓克强;陈建益;;声表面波滤波器瞬态响应的分析[A];2008’促进中西部发展声学学术交流会论文集[C];2008年
7	傅金桥;胡爱民;秦廷辉;;声表面波滤波器耦合模分析[A];中国声学学会1999年青年学术会议[CYCA'99]论文集[C];1999年
8	许钊庚;何世堂;汪承灏;;宽带低插损双模声表面波滤波器[A];中国声学学会1999年青年学术会议[CYCA'99]论文集[C];1999年
9	彭明生;杨志军;蒙宇飞;苑执中;林兵;李勋贵;;金刚石中氢的呈色机制研究[A];中国矿物岩石地球化学学会第十届学术年会论文集[C];2005年
10	张博;邱日;张树永;;常温常压电化学合成金刚石结构B_2O[A];第十三次全国电化学会议论文摘要集（上集）[C];2005年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	伊萨（Haitham Moh'd Ata Issa）;无线局域网的综述、IEEE802.11b物理层的设计与仿真、声表面波滤波器在无线通信中的应用[D];浙江大学;2002年
2	文继国;射频声表面波滤波器的研究[D];电子科技大学;2009年
3	吴庆华;B-C-N化合物在高温高压下的相演化及其性能研究[D];燕山大学;2007年
4	王晖;纳米材料高压行为的研究[D];浙江大学;2010年
5	翟琪;激光冲击碳材料合成纳米金刚石的相变机理研究[D];天津大学;2007年
6	朱纯章;纳米材料和器件物理力学性能的一些分子动力学研究[D];南京航空航天大学;2007年
7	侯元元;C_（60）纳米棒等准一维纳米材料高温高压结构相变及其光致发光性质的研究[D];吉林大学;2008年
8	李丽;高温高压金刚石生长机理的价电子理论及热力学分析[D];山东大学;2008年
9	乔志军;纳米金刚石石墨化转变以及纳米金刚石/铜复合材料的制备与性能[D];天津大学;2007年
10	刘凡新;高密度硬盘磁头用超薄类金刚石薄膜的研究[D];华中科技大学;2007年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	王飞;多层膜声表面波滤波器的优化设计[D];天津理工大学;2011年
2	李朋;射频宽带低插损纵向DMS声表面波滤波器的研制[D];电子科技大学;2010年
3	朱琳;梯形声表面波滤波器设计[D];天津大学;2010年
4	张晓庆;高频声表面波滤波器的纳米压印技术制备研究[D];华中科技大学;2011年
5	陈小环;宽带低损耗声表面波滤波器的研制[D];电子科技大学;2010年
6	林宇菲;山东蒙阴开普系金刚石的宝石矿物学特征研究[D];昆明理工大学;2009年
7	盛正茂;通信系统中基于声表面波谐振器的高频带通滤波器设计[D];浙江工业大学;2012年
8	梅宁;新型低插损高稳定性SAWF仿真软件的研制[D];电子科技大学;2011年
9	崔健;高频SAW滤波器的ZnO/金刚石多层膜制备及器件设计研究[D];天津理工大学;2007年
10	张君衡;通信用中频声表面波滤波器的研制[D];华中科技大学;2005年

中国重要报纸全文数据库

前10条

1	唐敏思潮;声表面波滤波器市场及发展[N];中国电子报;2000年
2	张振友;经验六则[N];北京电子报;2000年
3	本报记者左尚明通讯员王卫东;塞上明珠耀凤城[N];中国电子报;2003年
4	左尚明黄晓良王卫东;宁光电表何以叫响海内外[N];中国工业报;2003年
5	;河北应用贷款3.6亿今年到位[N];计算机世界;2001年
6	中国科学技术史学会李安平;X射线的发现和发展[N];科技日报;2000年
7	江苏姜笃庆;自制15～870MHz调频接收机[N];电子报;2001年
8	江西吴建国;松下29V2H彩电伴音电路原理及检修[N];电子报;2004年
9	刘远江;应用型通信技术的有力践行者[N];科技日报;2004年
10	齐雪岭吴锦洪;急功源于劲力[N];中国工业报;2003年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南