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纳米电子器件及其集成技术

刘明  王丛舜  谢常青  龙世兵  李志钢  易里成荣  
【摘要】:正 国际上纳米器件通常可分为三类,纳米微电子器件、光电子器件和分子电子器件。本文将重点介绍纳米微电子代表性的纳米微电子器件有:单电子器件、隧穿器件、磁通量子器件、自旋器件等;国际上在开展纳米器件研究的同时,适合纳米器件的电路和体系结构也是研究的热点。在国家“973”等项目的支持下,国内也先后开展了100纳米以下尺度硅基和化合物半导体器件结构、制备、模型与模拟等方面的研究工作。发展了基于介观物理基础的亚100纳米的MOS 器件模型和相应的Monte Carlo 模拟软件,开发了超

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