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电弧离子镀容性负载与脉冲偏压电源间的匹配

戚栋  
【摘要】:正 脉冲偏压电弧离子镀(简称“PBAIP”)是当前薄膜技术的最新发展方向之一,实现电源与电弧离子镀容性负载间的匹配对于提高PBAIP工艺水平具有重要作用。论文以作者建立的电弧离子镀等离子体负载的宏观电路模型及其与等离子体微观参量间的关系、研制的级联型结构的脉冲偏压电源为基础,通过建立电弧离子镀负载回路模型,研究负载回路对阶跃脉冲信号的响应特性及负载回路各参数对阶跃脉冲信号响应特性的影响,为解决镀膜工艺中负载上脉冲电压的振荡问题和匹配电路的设计,提供理论指导和设计思路。在此基础上设计了

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