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光学薄膜实时监控系统的研究

朱美萍  易葵  郭世海  邵建达  范正修  
【摘要】:正 本文介绍了一种光学监控法与石英晶振监控法相结合的实时监控系统。结构原理如图1所示,卤钨灯源发出的光被调制后,经过监控片、单色仪、光电倍增管,馈入锁相放大器,在调制盘旁置一光开关以获取调制光的频率信号作为锁相放大器的频率参考信号。利用计算机分别对由锁相放大器、晶控仪获得的光强、膜层厚度和膜料沉积速率等相关信息进行数字化处理,同时通过挡板开关控制电路对蒸发源挡板进行实时控制。系统的控制软件主要包括数据平滑、停镀点判断和自纠错技术等部分。数据平滑处理包括奇异项剔除和数字滤波。奇异项剔除是指把采样数据中明显错误的

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