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脉冲偏压电弧离子镀的工艺基础与技术开发

林国强  赵彦辉  张敏  董闯  闻立时  
【摘要】:正 脉冲偏压电弧离子镀是近年来出现的先进镀膜技术之一,但由于较传统工艺多引进了脉冲偏压频率和占空比两项动态参量,使得工艺过程变得更加复杂难控,一直限制着技术的推广应用。本文在针对脉冲偏压电弧离子镀的工艺基础问题展开研究的基础上,进行该技术工艺能力的逐点开发。首先用材料学结合等离子体物理、电工学和凝聚态物理等学科,在实验的基础上分析在脉冲电场作用下的等离子体负载特性,进而建立一个能够描述这一特性的理论

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