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大面积功能薄膜的浮法在线制备技术及新型节能镀膜玻璃研究

韩高荣  汪建勋  刘起英  
【摘要】:正 浮法玻璃在线镀膜技术是现代镀膜技术和浮法玻璃生产工艺有机结合的一种新技术,与磁控溅射、真空热蒸发、化学浸渍等离线镀膜方法相比,在线镀膜技术具有生产效率高,能耗低,生产成本低廉,产品可进行二次热加工和经久耐用等显著的优点。本文根据我国浮法玻璃生产工艺的特点,研究了浮法在线CVD和MOCVD大面积沉积技术,发现了镀膜工艺参数、反应器结构、薄膜均匀性、镀膜玻璃性能之间的相互关系,成功地获得了具有良好节能效率

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