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类金刚石薄膜的光学性能及应用

彭勃  张艳  蔺增  巴德纯  
【摘要】:类金刚石碳膜是具有优异的表面综合性能的薄膜材料,本文主要介绍了类金刚石碳膜的光学性能,掺杂氮、氟等元素以及离子注入、辐照、热处理等后处理工艺对类金刚石膜光学性能的影响,并介绍了类金刚石薄膜在光学领域的应用。

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