感应耦合等离子体的功率耦合效率的理论分析与计算

【摘要】：基于变压器模型,本文对感应耦合等离子体中线圈产生的空间电场分布、等离子体电阻、电感及功率耦合效率等进行了数值计算。在计算过程中,考虑了低气压等离子体无碰撞随机加热机制的作用。结果表明,同心线圈的感应电场呈中空分布,径向和轴向均呈现很大的不均匀性;功率耦合效率随线圈品质因数Q及耦合系数K的增大而增大。功率耦合效率的理论分析和计算为线圈优化设计提供了依据。

下载App查看全文

下载全文更多同类文献

PDF全文下载

CAJ全文下载

(如何获取全文？欢迎：购买知网充值卡、在线充值、在线咨询)

CAJViewer阅读器支持CAJ、PDF文件格式，AdobeReader仅支持PDF格式

	【相似文献】
	【相似文献】

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	狄小莲;辛煜;宁兆元;;感应耦合等离子体的功率耦合效率的理论分析与计算[A];中国真空学会第六届全国会员大会暨学术会议论文集[C];2004年
2	魏刚;王雪;王增平;;基于ANSYS的电力变压器漏电感的计算[A];第二十届电工理论学术年会论文集[C];2008年
3	丁瑞雪;杨银堂;韩茹;;6H-SiC体材料ICP刻蚀技术[A];第十五届全国化合物半导体材料，微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
4	陈亮;亢勇;朱龙源;赵德刚;李向阳;龚海梅;;Cl_2/Ar/BCl_3 ICP刻蚀AlGaN的研究[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
5	邓俊静;齐胜利;陈志忠;田朋飞;郝茂盛;张国义;;ICP刻蚀对p-GaN表面改性及接触的影响[A];第十五届全国化合物半导体材料，微波器件和光电器件学术会议论文集[C];2008年
6	尤大伟;黄小刚;任荆学;李安杰;;用于薄膜制备的宽束射频离子源[A];2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议论文集[C];2004年
7	陈磊;张靖;毛谦;;ICP干法刻蚀技术在Ⅲ-Ⅴ族化合物中的应用[A];武汉市第二届学术年会、通信学会2006年学术年会论文集[C];2006年
8	吴磊;;基于EMTP/ATP的变压器建模及仿真研究[A];山东省石油学会油田电力、通信及自动化技术研讨会优秀工程技术论文集[C];2009年
9	王增平;马静;;基于等效瞬时漏感的新型变压器保护原理[A];2006中国电力系统保护与控制学术研讨会论文集[C];2006年
10	盛松涛;杜贵平;张波;;感应耦合式无接触电能传输系统无接触变压器模型[A];2006中国电工技术学会电力电子学会第十届学术年会论文摘要集[C];2006年

中国博士学位论文全文数据库

前8条

1	韩正庆;变压器仿真计算模型与保护原理研究[D];西南交通大学;2006年
2	王平;碳化硅场效应器件的模型及关键工艺技术研究[D];西安电子科技大学;2005年
3	周雯琪;感应耦合电能传输系统的特性与设计研究[D];浙江大学;2008年
4	张志文;新型平衡变压器和谐波抑制变压器理论与应用研究[D];湖南大学;2006年
5	郝文斌;变压器暂态仿真模型及基于支持向量机的变压器保护原理研究[D];西南交通大学;2006年
6	车仁飞;配电网潮流计算及重构算法的研究[D];山东大学;2003年
7	张冰;大型电力变压器的GIC影响效应研究[D];华北电力大学（北京）;2010年
8	张杰;新型换流变压器故障建模及保护原理研究[D];湖南大学;2010年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	狄小莲;感应耦合等离子体源线圈配置对等离子体特性的影响[D];苏州大学;2006年
2	于振东;感应耦合等离子体器壁条件与等离子体参数的关系[D];清华大学;2005年
3	吴丹;变压器继电保护中励磁涌流识别方法的研究[D];湖南大学;2007年
4	虞一青;碳氟感应耦合等离子体及其SiO_2介质刻蚀研究[D];苏州大学;2007年
5	钱丹娜;平面线圈感应耦合等离子体中射频电场穿透及功率沉积的理论研究[D];大连理工大学;2006年
6	黄咏容;变压器暂态故障仿真及基于支持向量机的故障辨识[D];西南交通大学;2006年
7	卢春山;正交型天线感应耦合等离子体源的放电特性[D];苏州大学;2008年
8	马志远;小电网负荷低谷时段谐波电压问题的研究[D];西南交通大学;2008年
9	黎功华;基于绕组回路平衡方程的变压器保护研究[D];重庆大学;2008年
10	彭勃;回转器—电容模型中变压器寄生参数的研究[D];南京航空航天大学;2008年

中国重要报纸全文数据库

前1条

1	本报记者肖冬梅　姚雷陶思遥;让世界聆听特高压的声音[N];国家电网报;2009年

	快捷付款方式		订购知网充值卡	订购热线	帮助中心
	微信支付支付宝银行卡	知网卡在线购卡更多>>	免费送卡上门银行汇款购卡邮局汇款购卡	400-819-9993 010-62982499 010-62783978	常见问题在线咨询阅读器下载	充值中心知网卡新手指南