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感应耦合等离子体的功率耦合效率的理论分析与计算

狄小莲  辛煜  宁兆元  
【摘要】:基于变压器模型,本文对感应耦合等离子体中线圈产生的空间电场分布、等离子体电阻、电感及功率耦合效率等进行了数值计算。在计算过程中,考虑了低气压等离子体无碰撞随机加热机制的作用。结果表明,同心线圈的感应电场呈中空分布,径向和轴向均呈现很大的不均匀性;功率耦合效率随线圈品质因数Q及耦合系数K的增大而增大。功率耦合效率的理论分析和计算为线圈优化设计提供了依据。

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