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脉冲真空电弧离子镀沉积类金刚石薄膜力学性能研究

周顺  严一心  
【摘要】:利用脉冲真空电弧离子镀技术在3Cr13不锈钢上制备了类金刚石(DLC)薄膜,通过Raman光谱分析了膜的结构特征,采用摩擦磨损试验机测试了薄膜在不同载荷下的摩擦系数,运用划痕仪研究了膜基的结合强度.结果表明:所镀制的薄膜具有典型类金刚石结构特征,膜中ID/IG为1.33;摩擦系数随着载荷的增大而减小,载荷为5N,转速120r/m时的摩擦系数为0.02;Ti过渡层的引入显著地提高了膜基结合力.

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