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Closed Draft无栅网离子源及其应用

王旭迪  洪义麟  徐向东  刘颖  付绍军  
【摘要】:Closed draft无栅网离子源是1997年由AE公司首先实现商品化的新型离子源。由于没有栅网组成的离子光学系统,因此仅需一个电源使之具有结构简单,价格低廉,与反应气体兼容,易于获得大面积的均匀离子束等优点。对该离子源与传统离子源了比较,介绍了它的工作原理,重点分析了条形及圆形两种主要类型的结构与设计要点。综述了其在基片清洗、薄膜沉积、刻蚀等方面的应用。

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