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直流磁控溅射制备ZnO薄膜的结构及电学性质研究

李丽  王万录  廖克俊  张瑞俭  杨丰帆  付光宗  
【摘要】:ZnO薄膜是一种宽带隙半导体材料,由于它特殊的结构和光电性质,在发光器件,压电元件,声表面波器件,传感器,光电转换器件,平面显示器及太阳能电池的透明导电极,汽车导电窗玻璃等方面,有广阔的应用前景。本文采用直流反应磁控溅射方法在透明平面玻璃上合成的ZnO薄膜,合成的ZnO薄膜利用光衍射,扫描电子显微镜和原子力显微镜来进行分析和表征。实验结果表明,ZnO薄膜的结构和光电性质与合成条件密切相关。且ZnO薄膜是纳米级的,具有较好的轴取向,且平整度较好。并测出ZnO薄膜的温差电动势,得出薄膜中的载流子浓度越大,温差电动势率越小。且ZnO薄膜厚度越大,即载流子浓度越大,温差电动势率越小。并从理论上进行了分析。本文对其结果进行了较为详细的讨论。

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