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复杂多元氧化物薄膜材料的脉冲激光沉积

刘俊明  
【摘要】:脉冲激光沉积技术是过去十几年来发展最为迅速的物理真空薄膜制备技术之一,特别是在复杂多元氧化物薄膜异质结及多层膜制备方面已经成为国内外广泛使用的一种方便有效的物理制膜技术。最近十年,基于脉冲激光沉积技术而发展起来的激光分子束外延制备技术也得到了发展,虽然仍然有很多问题等待解决。本报告将介绍南京大学脉冲激光沉积实验室十多年来研究工作的几项主要成果,包括:非线性光波导薄膜的制备,庞磁电阻锰氧化物薄膜的制备,铁电薄膜异质结的制备和高介电栅极材料的开放。报告最后将提到我们发展的新一代激光分子束外延设备。

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