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沈阳市真空机械三厂氦质谱检漏仪发展回顾

郎人和  
【摘要】:正沈阳市真空机械三厂从一九八九年起开始进行氦质谱检漏仪研制,一九九三年九月进行ZH-1型氦质谱检漏仪技术鉴定其主要指标如下: 1. 最小可检漏量5.0×10-12[Pa·m3/s];

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