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水热法制备锡掺杂氧化钛薄膜工艺因素研究

丁常胜  苗鸿雁  罗宏杰  王秀峰  
【摘要】:以Ti(SO4)2为前驱物,尿素为沉淀剂,SnCl4为掺杂剂,采用水热法制备出Sn-TiO2薄膜。利用XRD、SEM和UV-VIS等测试手段对薄膜的物相、表面形貌和吸光性等进行了表征。研究了Ti(SO4)2的浓度、SnCl4的掺入量、水热反应温度和保温时间对制备Sn-TiO2薄膜的影响。结果表明,在一定工艺条件下,可制备出均匀、致密,无可视缺陷,厚度约160 nm的Sn-TiO2薄膜。

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