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脉冲工艺在薄膜制备中的应用

赵彦辉  林国强  董闯  闻立时  
【摘要】:本文综述了国内外脉冲工艺在电弧离子镀和磁控溅射中的应用。脉冲工艺为电弧离子镀净化大颗粒、增强膜基结合力、改善组织形貌、降低沉积温度等起到了重要作用。电弧或溅射离子镀高的离化率为脉冲工艺提供了最好的应用条件。最后,对脉冲工艺在薄膜制备中的应用前景进行了展望。

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