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石英衬底上的BP_xN_(1-x)薄膜沉积及P对其光学带隙调制研究

徐世友  张溪文  韩高荣  
【摘要】:正 氮化硼(BN)作为优质的宽光学带隙的半导体材料具有重要的研究和实用价值,其中,利用氮化硼优异的机械、化学性能以及宽光学带隙特性,开发其在紫外光波段的光电响应功能,是一个有实用意义的方向,在国防、航天和环保等领域有巨大的发展潜力,但与此相关的研究少见报导。本文介绍了研制具有宽紫

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